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纯水是指水中的强电解质和弱电解质（如SiO2、CO2等）。去除或降低到某些特定的程度的水。其电导率一般为：1.0-0.1ps/cm，电阻率1.0-1000000cm。含盐量＜1mg/l。
超纯水是指水中的导电介质简直彻底去除，一起不离解的气体、胶体以及有机物质（包含细菌等）也去除至很低程度的水。其电导率一般为0.1-0.055ps/cm，电阻率（25℃）＞10X1000000.cm，含盐量＜0.1mg/l。
